በንፁህ ክፍል ውስጥ የሙቀት እና የአየር ግፊት መቆጣጠሪያ

በተለይም የጭጋግ የአየር ሁኔታ እየጨመረ በመምጣቱ የአካባቢ ጥበቃ የበለጠ ትኩረት ይሰጣል. የንጹህ ክፍል ምህንድስና የአካባቢ ጥበቃ እርምጃዎች አንዱ ነው. በአካባቢ ጥበቃ ውስጥ ጥሩ ስራ ለመስራት ንጹህ ክፍል ምህንድስና እንዴት መጠቀም ይቻላል? በንጹህ ክፍል ምህንድስና ውስጥ ስለ መቆጣጠሪያው እንነጋገር.

በንፁህ ክፍል ውስጥ የሙቀት እና እርጥበት ቁጥጥር

የንጹህ ቦታዎች የሙቀት መጠን እና እርጥበት በዋነኝነት የሚወሰነው በሂደት መስፈርቶች ላይ ነው, ነገር ግን የሂደቱን መስፈርቶች በሚያሟሉበት ጊዜ, የሰዎች ምቾት ግምት ውስጥ መግባት አለበት. የአየር ንፅህና መስፈርቶች መሻሻል, በሂደት ላይ ላለው የሙቀት መጠን እና እርጥበት ጥብቅ መስፈርቶች አዝማሚያ አለ.

እንደ አጠቃላይ መርህ ፣ የማቀነባበሪያው ትክክለኛነት እየጨመረ በመምጣቱ የሙቀት መጠን መለዋወጥ መስፈርቶች እያነሱ እና እያነሱ ናቸው። ለምሳሌ በትልቅ ደረጃ የተቀናጀ የወረዳ ምርትን በሊቶግራፊ እና በተጋላጭነት ሂደት ውስጥ እንደ ጭንብል ማቴሪያሎች ጥቅም ላይ በሚውሉት የመስታወት እና የሲሊኮን ዋይፎች መካከል ያለው የሙቀት መስፋፋት ልዩነት በጣም ትንሽ እየሆነ መጥቷል።

የ 100 μm ዲያሜትር ያለው የሲሊኮን ዋፈር የሙቀት መጠኑ በ 1 ዲግሪ ሲጨምር የ 0.24 μm መስመራዊ መስፋፋትን ያመጣል. ስለዚህ, የ ± 0.1 ℃ ቋሚ የሙቀት መጠን አስፈላጊ ነው, እና የእርጥበት እሴቱ በአጠቃላይ ዝቅተኛ ነው, ምክንያቱም ከላብ በኋላ ምርቱ ሊበከል ይችላል, በተለይም ሶዲየምን በሚፈሩ ሴሚኮንዳክተር አውደ ጥናቶች ውስጥ. የዚህ አይነት ዎርክሾፕ ከ 25 ℃ መብለጥ የለበትም።

ከመጠን በላይ እርጥበት ብዙ ችግሮችን ያስከትላል. አንጻራዊው የእርጥበት መጠን ከ 55% በላይ ሲሆን, በማቀዝቀዣው የውሃ ቱቦ ግድግዳ ላይ ኮንደንስ ይከሰታል. በትክክለኛ መሳሪያዎች ወይም ወረዳዎች ውስጥ የሚከሰት ከሆነ, የተለያዩ አደጋዎችን ሊያስከትል ይችላል. አንጻራዊው የእርጥበት መጠን 50% ሲሆን, ዝገቱ ቀላል ነው. በተጨማሪም እርጥበቱ በጣም ከፍተኛ በሚሆንበት ጊዜ በሲሊኮን ዋይፈር ላይ የሚጣበቀው አቧራ በአየር ውስጥ በሚገኙ የውሃ ሞለኪውሎች ውስጥ በኬሚካላዊ መንገድ ይጣበቃል, ይህም ለማስወገድ አስቸጋሪ ነው.

አንጻራዊው እርጥበት ከፍ ባለ መጠን ማጣበቂያውን ለማስወገድ በጣም ከባድ ነው. ነገር ግን, አንጻራዊ እርጥበት ከ 30% በታች በሚሆንበት ጊዜ, በኤሌክትሮስታቲክ ኃይል አሠራር ምክንያት ቅንጣቶችም እንዲሁ በቀላሉ ወደ ላይ ይጣላሉ, እና ብዙ ቁጥር ያላቸው ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ለመበስበስ የተጋለጡ ናቸው. ለሲሊኮን ዋፈር ምርት በጣም ጥሩው የሙቀት መጠን 35-45% ነው.

የአየር ግፊትመቆጣጠርንጹህ ክፍል ውስጥ 

ለአብዛኛዎቹ የንጹህ ቦታዎች, የውጭ ብክለትን ከወረራ ለመከላከል, ከውስጥ ግፊት (የማይንቀሳቀስ ግፊት) ከፍ ያለ የውስጥ ግፊት (የማይንቀሳቀስ ግፊት) መጠበቅ አስፈላጊ ነው. የግፊት ልዩነትን መጠበቅ በአጠቃላይ የሚከተሉትን መርሆዎች ማክበር አለበት ።

1. በንጹህ ቦታዎች ውስጥ ያለው ግፊት ንጹህ ባልሆኑ ቦታዎች ላይ ካለው ከፍ ያለ መሆን አለበት.

2. ከፍተኛ የንጽህና ደረጃ ባለባቸው ቦታዎች ላይ ያለው ግፊት ዝቅተኛ የንጽህና ደረጃ ካላቸው አጎራባች ቦታዎች የበለጠ መሆን አለበት.

3. በንፁህ ክፍሎች መካከል ያሉት በሮች ከፍተኛ የንፅህና ደረጃ ወዳለባቸው ክፍሎች መከፈት አለባቸው።

የግፊት ልዩነት ማቆየት በንጹህ አየር መጠን ላይ የተመሰረተ ነው, በዚህ የግፊት ልዩነት ውስጥ ካለው ክፍተት ውስጥ ያለውን የአየር ፍሰት ማካካስ መቻል አለበት. ስለዚህ የግፊት ልዩነት አካላዊ ትርጉሙ በንፁህ ክፍል ውስጥ ባሉ የተለያዩ ክፍተቶች ውስጥ የፍሳሽ ማስወገጃ (ወይም ሰርጎ መግባት) የአየር ፍሰት መቋቋም ነው።