የሙቀት እና የአየር ግፊት ቁጥጥር በንጹህ ክፍል ውስጥ

የአካባቢ ጥበቃ በተለይም የጭጋግ የአየር ሁኔታ እየጨመረ በመምጣቱ የበለጠ ትኩረት እየተሰጠው ነው። የንፁህ ክፍል ምህንድስና ከአካባቢ ጥበቃ እርምጃዎች አንዱ ነው። በአካባቢ ጥበቃ ጥሩ ስራ ለመስራት የንፁህ ክፍል ምህንድስናን እንዴት መጠቀም ይቻላል? ስለ ንፁህ ክፍል ምህንድስና ቁጥጥር እንነጋገር።

በንጹህ ክፍል ውስጥ የሙቀት እና የእርጥበት ቁጥጥር

የንፁህ ቦታዎች የሙቀት መጠን እና እርጥበት በዋናነት የሚወሰነው በሂደቱ መስፈርቶች ላይ በመመስረት ነው፣ ነገር ግን የሂደቱን መስፈርቶች ሲያሟሉ የሰው ልጅ ምቾት ግምት ውስጥ መግባት አለበት። የአየር ንፅህና መስፈርቶችን በማሻሻል፣ በሂደት ላይ የሙቀት እና የእርጥበት መስፈርቶች ጥብቅ የመሆን አዝማሚያ አለ።

እንደ አጠቃላይ መርህ፣ የሂደቱ ትክክለኛነት እየጨመረ በመምጣቱ የሙቀት መለዋወጥ ክልል መስፈርቶች እያነሱ እና እያነሱ ናቸው። ለምሳሌ፣ በትላልቅ ደረጃ የተቀናጀ የወረዳ ምርት ሊቶግራፊ እና መጋለጥ ሂደት ውስጥ፣ እንደ ጭምብል ቁሳቁሶች ጥቅም ላይ በሚውሉት የመስታወት እና የሲሊኮን ዋፈሮች መካከል ያለው የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት ልዩነት ከጊዜ ወደ ጊዜ እየቀነሰ መጥቷል።

የ100 μm ዲያሜትር ያለው የሲሊኮን ዋፈር የሙቀት መጠኑ በ1 ዲግሪ ሲጨምር 0.24 μm መስመራዊ መስፋፋት ያስከትላል። ስለዚህ፣ ± 0.1 ℃ ቋሚ የሙቀት መጠን አስፈላጊ ነው፣ እና የእርጥበት ዋጋ በአጠቃላይ ዝቅተኛ ነው ምክንያቱም ላብ ከተደረገ በኋላ ምርቱ ይበከላል፣ በተለይም ሶዲየምን የሚፈሩ ሴሚኮንዳክተር አውደ ጥናቶች። ይህ ዓይነቱ አውደ ጥናት ከ25 ℃ መብለጥ የለበትም።

ከመጠን በላይ የሆነ እርጥበት ተጨማሪ ችግሮችን ያስከትላል። አንጻራዊው እርጥበት ከ55% ሲበልጥ፣ በማቀዝቀዣው የውሃ ቱቦ ግድግዳ ላይ ጤዛ ይፈጠራል። በትክክለኛ መሳሪያዎች ወይም ወረዳዎች ውስጥ ከተከሰተ የተለያዩ አደጋዎችን ሊያስከትል ይችላል። አንጻራዊው እርጥበት 50% ሲሆን በቀላሉ ዝገት ያስከትላል። በተጨማሪም፣ እርጥበቱ በጣም ከፍተኛ ሲሆን፣ በሲሊኮን ዋፈር ወለል ላይ የተጣበቀው አቧራ በአየር ውስጥ ባሉ የውሃ ሞለኪውሎች በኩል በኬሚካል ይዋጣል፣ ይህም ለማስወገድ አስቸጋሪ ነው።

አንጻራዊው እርጥበት ከፍ ባለ ቁጥር ማጣበቂያውን ማስወገድ የበለጠ ከባድ ይሆናል። ሆኖም ግን፣ አንጻራዊው እርጥበት ከ30% በታች ሲሆን፣ ቅንጣቶች በኤሌክትሮስታቲክ ኃይል ተግባር ምክንያት በቀላሉ በገጽታ ላይ ይዋሃዳሉ፣ እና ብዙ ቁጥር ያላቸው የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ለመበላሸት የተጋለጡ ናቸው። ለሲሊኮን ዋፈር ምርት ተስማሚው የሙቀት መጠን ከ35-45% ነው።

የአየር ግፊትቁጥጥርበንጹህ ክፍል ውስጥ 

ለአብዛኛዎቹ ንጹህ ቦታዎች፣ ውጫዊ ብክለት እንዳይገባ ለመከላከል፣ ውስጣዊ ግፊት (የማይንቀሳቀስ ግፊት) ከውጭ ግፊት (የማይንቀሳቀስ ግፊት) ከፍ ያለ እንዲሆን ማድረግ ያስፈልጋል። የግፊት ልዩነትን መጠበቅ በአጠቃላይ የሚከተሉትን መርሆዎች ማክበር አለበት፡

1. በንጹህ ቦታዎች ላይ ያለው ግፊት ንፁህ ባልሆኑ ቦታዎች ላይ ካለው ግፊት ከፍ ያለ መሆን አለበት።

2. ከፍተኛ የንፅህና ደረጃ ባላቸው ቦታዎች ላይ ያለው ግፊት ዝቅተኛ የንፅህና ደረጃ ባላቸው አጎራባች ቦታዎች ላይ ካለው ግፊት ከፍ ያለ መሆን አለበት።

3. በንጹህ ክፍሎች መካከል ያሉት በሮች ከፍተኛ ንፅህና ወዳለባቸው ክፍሎች መከፈት አለባቸው።

የግፊት ልዩነትን መጠበቅ የሚወሰነው በንጹህ አየር መጠን ላይ ሲሆን ይህም በዚህ የግፊት ልዩነት ስር ካለው ክፍተት የሚወጣውን የአየር ፍሰት ማካካስ ይችላል። ስለዚህ የግፊት ልዩነት አካላዊ ትርጉም በንጹህ ክፍል ውስጥ በተለያዩ ክፍተቶች ውስጥ የሚፈሰውን የአየር ፍሰት መቋቋም (ወይም ሰርጎ መግባት) ነው።